畢樹生　宗光華  摘自：中國機械工程 < FN[{YsA  
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微機械電氣系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)這一前沿技術主要涵蓋以下研究專題：①集成化微型儀器與傳感器；②微加工與測試技術；③微操作系統(tǒng)。 Q=>@:1=  
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微操作系統(tǒng)作為MEMS研究領域的一個重要分支受到各發(fā)達國家的高度重視，紛紛投入大量資金進行微操作機器人系統(tǒng)的研究，現(xiàn)已研制出多種各具特色的微操作機器人實驗樣機系統(tǒng)［1］。 s>_n