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[分享]離子輔助鍍膜技術(shù)在優(yōu)質(zhì)高產(chǎn)的鍍膜系統(tǒng)中的應(yīng)用 [復(fù)制鏈接]

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離線qasy

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-08-15

摘要：大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量薄膜產(chǎn)品是今后鍍膜設(shè)備需要解決的問題。等離子體或離子輔助鍍膜現(xiàn)在被廣泛應(yīng)用于高質(zhì)量膜系生產(chǎn)中并取得了良好的效果，但是主要由于等離子體或離子源的原因，產(chǎn)能不高。本文介紹了一種新型精密光學(xué)鍍膜系統(tǒng)和一種新型濺射鍍膜系統(tǒng)。新的系統(tǒng)能夠優(yōu)質(zhì)高效地生產(chǎn)復(fù)雜膜系，特別適合大規(guī)模生產(chǎn)。

關(guān)鍵詞：等離子輔助沉積，濺射鍍膜，光學(xué)鍍膜

描述:給大家點(diǎn)好東東！
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cyqdesign

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2007-08-15

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離線cswmsc

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2007-08-16

謝謝，咋沒人頂��？

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離線lilylyl

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2007-08-18

qasy 的這個(gè)文章很好。謝謝！
剛看了一下文章內(nèi)容，等離子輔助鍍膜技術(shù)似乎很好，但是在制備高品質(zhì)低損耗鏡片方面，我比較認(rèn)可VEECO公司的射頻源離子濺射技術(shù)，后者在精確控制方面、設(shè)備穩(wěn)定，漂移小。在磨蹭微觀結(jié)構(gòu)方面致密性更好。
不知其他同仁有沒有看法？