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)Fx"S.Ok 3XF.$=@ 計算機數(shù)控研磨和拋光技術是一種由計算機控制的精密機床將工件表面磨削成所需要的面形,然后用柔性拋光模拋光,使工件在不改變精磨面形精度的條件下達到鏡面光潔度的光學零件制造技術。該技術主要用來加工中、大尺寸的非球面光學零件。加工零件時,磨削工具受計算機控制,在工件表面進行磨削去除加工。磨削工具根據(jù)工件的不同加工余量,在工件表面停留不同的時間來實現(xiàn)非球面加工。工件加工精度主要取決于測量精度和所采用的誤差校正方法。
8^\}\@ S-}MS" 非球面光學零件的精密研磨拋光比較普遍采用的一種技術是:小型磨床修正研磨拋光法。
&E0L7?l g}"`@H(9r3 小型磨床研磨拋光法分為縱向掃描和光柵掃描兩種方式?v向掃描方式是:被加工的工件以一定的速度旋轉,拋光器則沿著貫穿工件軸心的斷面進行搖動?v向掃描方式對工件軸心附近的形狀控制和非旋轉對稱部分的形狀誤差的修正研磨拋光比較困難,但是研磨時間可望縮短,設備比較簡單。光柵掃描方式則是:被加工的工件不旋轉,拋光器在工件的表面移動研磨拋光。這種方式不僅容易進行非旋轉對稱部分的修正研磨拋光,而且還可以進行離軸光學零件的研磨拋光加工。但是,此種方式的設備組成較為復雜,成本比較高。
|I-;CoAg jWJq[l 為了提高加工精度,小型磨床加工系統(tǒng)必需具備很高的精度和反復再現(xiàn)性、研磨去除量不隨時間變化而變化、高精度的模擬計算、和與實際研磨的一致性等條件。小型磨床研磨拋光加工的工藝流程大致如下:首先由三維測試機、激光干涉儀測出加工面的形狀精度,求出面形誤差。工作站根據(jù)面形誤差計算出需要研磨拋光的軌跡,并將該研磨拋光軌跡轉換成數(shù)控編碼傳送給磨床進行加工。加工完了后進行面形精度測試。面形精度若是沒有達到要求,再反復地進行計算、加工。通過這樣反復地進行面形測試、計算、修正研磨拋光,即可達到提高面形精度的目的。
I=o[\?u*_ Z>gxECi 小型磨床最早是由美國研究開發(fā)的,其磨頭直徑不超過工件的1/3,由計算機計算去除量,加工精度比較高?梢愿呔鹊丶庸ぶ睆1500~1800mm的大口徑非球面。目前,美國亞里桑那大學的光學中心,已基本上用計算機數(shù)控研磨拋光加工技術取代了傳統(tǒng)的手工研磨拋光加工非球面光學零件。另外美國羅徹斯特大學光學制造中心也已獲得了300多萬美元的國防基金和幾家大公司的資助,實現(xiàn)了非球面透鏡生產(chǎn)的自動化。
w`=_|4wFw ~XN--4%Q 80年代末,日本研制出了的超精密數(shù)控范成法研磨機,使用該研磨機加工出的光學零件,其面形精度達到了0.08μm,表面粗糙度的均方根值為0.2nm。若用瀝青拋光模進行加工,表面粗糙度的均方根值能達到0.035nm。最近,日本采用門型機械加工中心,使用4000#~8000#鑄鐵絲結合金剛石砂輪,利用ELID(在線電解修正法)磨削法,磨削BK-7光學玻璃,所獲得的非球面的面形精度為1μm,表面粗糙度為43nmRmax。
NAjY,)>'K (DJLq 德國的計算機數(shù)控研磨拋光技術很快。Loh公司生產(chǎn)的CNCSPM50和120研磨拋光機,不僅可以粗、精磨球面光學零件,而且還可以粗、精磨非球面光學零件。施耐德(SCHEIDER)光學機械公司90年代末制造的ALG100型計算機數(shù)控非球面磨床和ALP100型計算機數(shù)控非球面拋光機,可以高效率地進行非球面光學零件的生產(chǎn)。
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,O ALG100型計算機數(shù)控非球面磨床,可在對話框中直接輸入非球面加工參數(shù),自動計算非球面磨削加工量;采用先進的導向裝置與旋轉加工技術,各軸與旋轉軸的傳動使用了高性能數(shù)字AC伺服傳動裝置;采用干涉測量系統(tǒng)加強加工過程中的工件的測量,能對工件的非球面加工進行優(yōu)化調(diào)整;非球面加工中心能夠直接進行非球面或棱形的組合加工,具有綜合預加工的2、3維混合加工技術功能;旋轉軸采用高頻空氣軸承,可利用環(huán)形工具進行高速的球面預加工,能夠獲得最佳透鏡半徑等特性。
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ALG100非球面磨床的主要技術規(guī)格如下:加工工件尺寸:最大直徑為150mm,半徑為10mm的平面;軸數(shù)3軸(X,Z,B)X、Z;軸的推進(進刀)速度為0.01~5000mm/min;X、Z軸的位置往返精度為±0.001mm;B軸的推進(進刀)速度為0.01~4300°/min;B軸位置往返精度為±4";連接機構旋轉軸(H×D)25×42mm;主軸轉速度為5000~15000轉/min;工件軸轉速為25~1500轉/min;磨床外形尺寸1150×1900×1220mm;質量為1000kg。
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