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[求助]要怎么做才能用臺階儀測出透明薄膜厚度？ [復制鏈接]

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離線jlxygun

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-10-17

我磁控濺射在k-9玻璃上做的SiN薄膜是透明的，而臺階儀要求兩個面之間有一定的對比度（在顯示器上可以分辨出臺階），希望大家給出出主意，怎么處理才能用臺階儀測出SiN厚度呢？謝謝！

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離線huyanah

實習生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2007-11-07

坦白的說，臺階很難
橢偏可以

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離線memser

實習生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2007-11-07

臺階儀不是接觸式測量嗎？探針接觸掃描曲線，為什么還要有對比度呢，難道我們用的臺階怡不一樣，實在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A測的不準。不過這個測的不準，用橢偏儀或者VYKO三維輪廓儀測吧。不過用橢偏儀你得知道K-9玻璃的law文件才能測，用VYKO你得光刻做個臺階后才行，都比較準吧。再不就用膜厚儀吧，不怎么準，因為折射率是設(shè)定了的，而且可能還不行，因為沒有你這基底啊。