1. 打底層最好用TiO2 *;<fh,wOk  
2. 機器不要加溫，把能量放到IBS這邊； :/5m D  
3. IBS的能量要有一個梯度 <L
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4. 整個鍍膜后的溫度要用測溫紙測一下，以此來判斷你IBS的energy是否合理

TiO2和SiO2薄膜應(yīng)力的產(chǎn)生機理及實驗探索.zip (144 K) 下载次数:80 !>`Q]M`  
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膜裂一般是由應(yīng)力產(chǎn)生的，一般來講，張力會造成膜裂。 9CDei~  
而在常溫下，SiO2表現(xiàn)為張力，TiO2表現(xiàn)為壓力。 ipSMmpB  
所以按原理來講，第一層鍍TiO2對膜裂的改善會比較好。 "[)G{VzT  
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而且從附件論文的數(shù)據(jù)來看，開IAD比不開要好。 THrLX;I  

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