激光材料加工涉及范圍很廣，材料的燒結(jié)、打孔、打標(biāo)、切割、焊接、表面改性和化學(xué)氣相沉積等都已把激光作為一種必不可少的能源。 +nJUFc  
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　　激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合于精密加工。我們按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求，將目前的激光加工技術(shù)分為三個(gè)層次： I1PuHf Qs  
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　�、俅笮图�材料激光加工技術(shù)，以厚板（數(shù)毫米至幾十毫米）為主要對(duì)象，其加工精度一般在毫米或者亞毫米級(jí)； 9W(dmde>  
　�、诰�密激光加工技術(shù)，以薄板（0．1～1．0 mm）為主要加工對(duì)象，其加工精度一般在十微米級(jí)； DZi!aJ  
　　③激光微細(xì)加工技術(shù)，針對(duì)厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對(duì)象，其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級(jí)。 0qX3v<+[6  
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　　必須說(shuō)明的是，在機(jī)械行業(yè)中，精密通常是指表面粗糙度小、各種公差（包括位置、形狀、尺寸等）范圍小。但本文所說(shuō)的“精密”一詞，是指被加工區(qū)域的縫隙小，意即加工所能達(dá)到的極限尺寸小。在上述三類激光加工中，大型件的激光加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟，產(chǎn)業(yè)化的程度已經(jīng)非常高，已有不少的文獻(xiàn)進(jìn)行了綜述；激光微細(xì)加工技術(shù)如激光微調(diào)、激光精密刻蝕、激光直寫技術(shù)等也已在工業(yè)上得到了較為廣泛的應(yīng)用，有關(guān)的綜述報(bào)道亦較多；本文將重點(diǎn)對(duì)激光精密加工技術(shù)進(jìn)行討論。為了比較方便，下文所說(shuō)的精密加工所針對(duì)的加工對(duì)象僅限于薄板（0.1-0.1mm）。 3YVi" k?2  
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1、激光精密加工與傳統(tǒng)加工方法的比較 By%