1.干涉儀及干涉條紋的解析
denxcDFu/~ Atb`Q'Yrw 評(píng)價(jià)
光纖連接器端面的球面半徑和光纖高度,首先必須測(cè)量連接器端面的形狀。干涉儀具有測(cè)量
精度高,速度快,成本低等優(yōu)點(diǎn),是測(cè)量表面形狀的一個(gè)有效手段。圖3.是光纖連接器端面檢測(cè)干涉儀的系統(tǒng)概要。由
光源射出的光線經(jīng)半
透鏡反射到米羅干涉
物鏡后,光線聚焦于被檢測(cè)光纖連接器的端面,經(jīng)端面反射后與米羅干涉物鏡的反射面反射的光線一同透過(guò)半透鏡,成像于ccd攝像頭。這時(shí)在ccd攝像頭上可以觀察到干涉條紋。ccd攝像頭測(cè)得的圖像經(jīng)圖像卡傳送到計(jì)算機(jī)進(jìn)行解析處理。就可以得到我們所需要的測(cè)量結(jié)果。由計(jì)算機(jī)經(jīng)過(guò)控制卡及控制回路控制的pzt(壓電陶瓷組件)用于移動(dòng)米羅干涉物鏡以產(chǎn)生位相移動(dòng)。
@F]w]d AyWdJ<OU 解析干涉條紋可以應(yīng)用傅立葉變換法2,3,4,也可以應(yīng)用位相移動(dòng)法5,6。傅立葉變換法具有簡(jiǎn)單,快速,低成本等優(yōu)點(diǎn),但精度較低,一般用于簡(jiǎn)易型測(cè)量?jī)x。對(duì)于光纖連接器端面形狀的測(cè)量,一般采用解析精度較高的位相移動(dòng)法。
v%$l( 6cd!;Ca 必須指出的是位相連接是一個(gè)比較復(fù)雜的過(guò)程。選擇不同的位相連接算法,計(jì)算速度和安定性將會(huì)不同。
idB1%?< ;*'I& 2.載物臺(tái)的傾斜調(diào)整
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