作者：成都工具研究所 羨一民 pxCQ=0k  
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隨著航空航天、重型機械、發(fā)電設(shè)備、船舶工業(yè)的發(fā)展，對大尺寸測量的要求越來越高。一些精密配合的大型零部件，尺寸達到十幾米甚至幾十米，精度要求達到IT7以上。如何測量這些零部件長期以來一直是困擾計量工作者的技術(shù)難題。目前實際應(yīng)用的測量手段仍以外徑千分尺、內(nèi)徑測桿等傳統(tǒng)測量工具為主，遠遠不能滿足需求。清華大學(xué)曾研制出一套很好的對準方法，與激光干涉儀相結(jié)合，用于測量大尺寸可達到很高的精度，但該方法必須使用高精度導(dǎo)向?qū)к�，限制了在生產(chǎn)、安裝現(xiàn)場的使用。因此，開發(fā)高精度、無導(dǎo)軌大尺寸測量技術(shù)，一直是長度計量領(lǐng)域的一個重要課題。 ycf)*0k  
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激光技術(shù)的快速發(fā)展為大尺寸精密測量開拓了嶄新的領(lǐng)域。近二十年來，出現(xiàn)了多種無導(dǎo)軌大尺寸測量方法，其中，受到廣泛關(guān)注的無導(dǎo)軌激光干涉儀是近年來發(fā)展很快的一種先進測量方法。 $5DlCN  
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小數(shù)重合法是無導(dǎo)軌激光干涉儀的基礎(chǔ)。它是一種測量和數(shù)據(jù)處理方法，常用于量塊檢定中。通俗地說，這種測量方法就像用不同長度的幾把“尺子”去量同一個物體，只要得到各次測量值的尾數(shù)，即可導(dǎo)出物體的實際長度，它并不關(guān)心測量的實際過程。 <slrzc_>&  
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激光干涉儀是以波長為基本計量單位的，多波長激光器的發(fā)展，是實現(xiàn)不同長度“尺子”的基礎(chǔ)。激光器可以穩(wěn)定地輸出多種波長的激光，利用光學(xué)拍波技術(shù)，可以將這些單波長合成為一組波長相近、間隔均勻的“合成波長鏈”�！昂铣刹ㄩL鏈”是一個塔形結(jié)構(gòu)，塔頂是最高一級合成波，其波長最長，塔底則是單波長。測量時，干涉儀以不同波長的激光工作，從最高級（最長波）開始，逐級下降，直至單波長。激光干涉儀的測量結(jié)果是在各種波長干涉下的一組剩余相位，以此可推導(dǎo)出總測量長度，由于每次的測量值都是剩余相位，與測量過程無關(guān)，因此不需要導(dǎo)向?qū)к墶? z~/
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選擇合適的“合成波長鏈”是無導(dǎo)軌激光干涉儀的關(guān)鍵。長波干涉保證了測量值的唯一性，而測量精度則取決于短波干涉。為了簡化測量過程，還有一種只使用一個合成波的方法，如采用幾百毫米的合成波，借助于普通測量工具（如卷尺）測出大致的合成波周期數(shù)，剩余相位由干涉儀測出，這種方法只需一次測量即可完成，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)也非常簡練，但由于所使用的波長較長，在測量精度上必然有所損失。 :W$-b