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    [求助]求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶要如何設(shè)置參數(shù) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-07-30
    求助：用氧化銦錫陶瓷靶與用銦錫合金靶分別如何設(shè)置參數(shù) pC,[!>0g8  
    磁控濺射的 JG'%HJ"D  
    現(xiàn)在網(wǎng)上找的一些資料說濺射溫度90 濺射功率200W AR與O2的分壓比為40：10 ou~$XZ7oi  
    eT3!"+p-F  
    但機(jī)器上我們不是要設(shè)置O2流量與  AR流量 這些我不知道怎么設(shè)置 gggD "alDx  
    剛進(jìn)這行沒幾個月  希望高手給我介紹下
     
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