我沒用過,給一個建議,查一下:Source Parameters ( 蒸發(fā)源參數(shù))中的Feedback Type,其中參數(shù)為Individual, BCD, single home, in position, or on feedback(獨立,二進(jìn)制數(shù)碼,到位,或無回饋),試著改變一下設(shè)置,還有就是Position Control(位置控制)中的Manual direct, BCD, or individual(手動,直接,二進(jìn)制數(shù)碼,或單獨),看看有什么不對