今天來探討
LED外延片的成長工藝,早期在小積體電路時代,每一個6吋的外延片上制作數(shù)以千計的芯片,現(xiàn)在次微米線寬的大型VLSI,每一個8吋的外延片上也只能完成一兩百個大型芯片。外延片的制造雖動輒投資數(shù)百億,但卻是所有電子工業(yè)的基礎。
oI-Fr0! ZTTA??}Y 硅晶柱的長成,首先需要將純度相當高的硅礦放入熔爐中,并加入預先設定好的
金屬物質,使產生出來的硅晶柱擁有要求的電性特質,接著需要將所有物質融化后再長成單晶的硅晶柱,以下將對所有晶柱長成制程做介紹:
l]|&j`'O D&m1yl@\J 長晶主要程式:
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