自激光在軍事和工業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用以來，各種控制手段伴隨著這種全新的加工工具在各行各業(yè)不斷的進(jìn)步，如今，高頻高精度控制成為激光應(yīng)用的一個必不可少的環(huán)節(jié)，隨著各種新型激光模式的出現(xiàn)，自動控制也正在激光加工的舞臺上以日益精密的技術(shù)展現(xiàn)著自己的風(fēng)采。   @ i*It Hk  
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　　80年代中期，激光在中國工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域開始嶄露頭角，90年代初，由于工具行業(yè)出口量的增加，激光標(biāo)刻開始成為必不可少的加工手段。激光標(biāo)刻屬于一個比較特殊的行業(yè)，其原理是利用聚焦后的光束對作用物表面進(jìn)行短時間淺層刻蝕或燒蝕，使其作用區(qū)異于未處理區(qū)以達(dá)到標(biāo)記的目的。由于對加工效率和效果有著非常高的要求，因此，從一開始高速度和高精度的自動控制在這一領(lǐng)域就得到了長足的發(fā)展，從1995年到2002年短短的7年時間，控制在激光標(biāo)刻領(lǐng)域就經(jīng)歷了大幅面時代、轉(zhuǎn)鏡時代和振鏡時代，控制方式也完成了從軟件直接控制到上下位機(jī)控制到實(shí)時處理、分時復(fù)用的一系列演變，如今，半導(dǎo)體激光器、光纖激光器、乃至紫外激光的出現(xiàn)和發(fā)展又對光學(xué)過程控制提出了新的挑戰(zhàn)。 'Z}3XVZEN  
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　　以控制對象分類，標(biāo)刻控制可以分為三種：光束控制、對象控制和飛行控制。其中，光束控制是應(yīng)用最廣泛的，對象控制主要是針對特殊行業(yè)，而飛行控制將是激光標(biāo)刻控制在未來的主要發(fā)展方向。顧名思義，光束控制指固定作用對象，直接控制光束在作用物表面的移動和停留，由于作用對象的尺寸和質(zhì)量不盡相同，直接控制對象的方式難以提高加工速度，因此這種控制手段從一開始就成為主要的控制方式；對象控制指固定光束，控制作用對象的移動和停留，這種控制手段主要應(yīng)用在對象體積比較小、質(zhì)量比較輕，同時對控制精度要求比較高而控制過程不太復(fù)雜的行業(yè)，例如硅片、晶元和工業(yè)用陶瓷等材料的劃片行業(yè)；飛行控制指同時控制光束和對象的移動和停留，這種控制將成為激光在流水線應(yīng)用的主要控制手段，優(yōu)點(diǎn)是速度快，自動化程度高，是后工業(yè)時代激光加工的主流控制模式。最主流的光束控制方式在中國共經(jīng)歷了三個時代的演變。