綜述了飛秒激光微加工技術(shù)國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀，介紹了飛秒激光微加工在光學、微電子及生物醫(yī)學等領(lǐng)域的應(yīng)用，展望了飛秒激光微加工技術(shù)未來發(fā)展的趨勢以及需要解決的關(guān)鍵技術(shù)。    超短、超強和高聚焦能力是飛秒激光的3大特點。 飛秒激光脈寬可短至4 fs(1 fs=10-15 s)以內(nèi)…，峰值 功率高達拍瓦量級(1 Pw=1015w)聚焦功率密度達到1020-1022 W／cm2。飛秒激光可以將其能量全部、快速、準確地集中在限定的作用區(qū)域，實現(xiàn)對玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、塑料、聚合物、樹脂等材料的微納尺寸加工，具有其它激光加工無法比擬的優(yōu)勢：①耗能低，無熱熔區(qū)，"冷"加工；②可加工的材料廣泛：從金屬到非金屬再到生物細胞組織，甚至是細胞內(nèi)的線粒體；③高精度、高質(zhì)量、高分辨率，加工區(qū)域可小于焦斑尺寸，突破衍射極限；④對環(huán)境沒有特殊要求，無污染。飛秒激光微加工是當今世界激光、光電行業(yè)中極為引人注目的前沿研究方向。世界各國學者在飛秒激光與材料相互作用機理研究方面已取得重大的進展，開發(fā)出以鈦寶石激光器為主的飛秒激光微加工系統(tǒng)，開展了飛秒激光微納加工的工藝研究，促進了多學科的融合，推動著飛秒激光微納加工技術(shù)向著低成本、高可靠性、多用途、產(chǎn)業(yè)化的方向發(fā)展。飛秒激光微加工技術(shù)將在超高速光通訊、強場科學、納米科學、生物醫(yī)學等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用和潛在的市場前景。本文旨在綜述飛秒激光微加工技術(shù)國內(nèi)外的研究狀況，介紹飛秒激光微加工的重要應(yīng)用，展望其今后的發(fā)展趨勢。 \gy39xoW(  
    PO5/j  
    1 國內(nèi)外飛秒激光微加工技術(shù)研究狀況 1I^[_ /_\y  
    Kf D8S  
    1．1飛秒激光微加工基礎(chǔ)理論的研究 ^0ZabR'  
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    飛秒激光加工機理的研究、試驗大多是探索陛的，多與長脈沖情形相比較而確定飛秒激光的燒蝕特性，在一定程度上解釋了飛秒激光與物質(zhì)相互作用的物理本質(zhì)。目前理論研究較系統(tǒng)的材料有金屬和透明介質(zhì)。 TG'_1m*$  
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