飛秒激光開始應(yīng)用到微納加工領(lǐng)域始于20世紀(jì)90年代初。正是由于飛秒激光具有持續(xù)時間短及高脈沖功率密度的特性，使得其與物質(zhì)相互作用時具有許多獨特的優(yōu)點：確定的燒蝕閾值，規(guī)則的加工邊緣，層層微加工以及可加工任何材料等。最近研究結(jié)果表明：飛秒激光微細加工在微光學(xué)、微電子、微機械、微生物、微醫(yī)學(xué)等多個領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用價值。不同學(xué)科、不同實驗具有不同的具體要求，這就需要采取相應(yīng)的加工手段來實現(xiàn)特定加工目的，囚此飛秒激光深孔加工技術(shù)等加工工藝開始引起越來越多研究者的重視。 H8Z Z@@ qm  
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激光整形技術(shù)是指在激光腔內(nèi)或腔外采用光學(xué)元件改變光束形態(tài)實現(xiàn)光束整形。飛秒激光脈沖整形有別于傳統(tǒng)整形概念，主要是在保留原有高峰值功率特性基礎(chǔ)上，在光路中引人擴束器、濾波器以及衍射模板等光學(xué)器件，達到縮小聚焦尺寸、去除高斯光束周圍熒光成分、減少脈沖形變及多種形狀加工等目的。常用的是空間濾波和掩�？刂萍夹g(shù)。空間濾波是實現(xiàn)對光束邊緣熒光的屏蔽效用，實現(xiàn)聚集點光學(xué)質(zhì)量的改善，掩�？刂剖峭ㄟ^掩模形狀來實現(xiàn)對脈沖的調(diào)制，以達到確定的加工目的。 i32_ZB