1、真空的定義
6 wd 真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
Q1Qw45$ 2、真空度
Q.9,W=<6 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
0Gj/yra9MO 3、真空度單位
,eTdQI; 通常用托(Torr)為單位,近年國(guó)際上取用毫巴(mbar)作為單位。
`yq)
y>_ 1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
<VU-ja*(J 4、托與帕的轉(zhuǎn)換
#&uajo 1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
E`LaO 5、平均自由程
t ^>07#z 作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“λ”表示。
`hY%HzV= 6、流量
D(Z#um8n 單位時(shí)間流過任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕?升/秒(Pa?L/s)或托?升/秒(Torr?L/s)。
SeZ+&d 7、流導(dǎo)
?VxQ&^| 表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。 U=Q/(P2- P1)
hQ>$"0K
8、壓力或壓強(qiáng)
)+v5H 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。
8~qpOQX^V 9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
f4\F:YT 壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。
2@T0QJ 10、極限真空
fN{wP,jI 真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
[jNVk3 11、抽氣速率
T-n>+G{ 在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)