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[轉(zhuǎn)載]紫外激光在微細(xì)加工技術(shù)中的優(yōu)勢(shì)研究 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-03-02

1 引言

激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計(jì)算機(jī)齊名的四項(xiàng)重大發(fā)明之一．四十多年來，隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長(zhǎng)，對(duì)于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點(diǎn)材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)展最快的領(lǐng)域之一．

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