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    [求助]膜系設(shè)計中TOOLING是什么？怎么算？ [復(fù)制鏈接]

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    離線jakky
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-03-10
    求各位大哥,有沒有人知道膜系設(shè)計中TOOLING是什么東東？怎么算？
     
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    離線zll0605
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-03-13
    我所理解的是模擬的與自己操作機(jī)器做出來的比值。不知道對不對！
    離線jakky
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-03-13
    成膜時,進(jìn)行實(shí)際控制的是比較片,但基板因?yàn)楹捅容^片位置不同,實(shí)際膜厚有較大出入,所以在設(shè)計中引入了TOOLING工具因子這個東西. !2]'S=Y  
    現(xiàn)在麻煩的是不知道這個東西該怎么算出來
    離線081023
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-03-17
    實(shí)際就是一個修正值。不同的設(shè)備、比較片與零件的位置、膜料的廠家不同、工藝參數(shù)等都會影響這個值的變化。是通過在每臺設(shè)備實(shí)際做后得到的一個經(jīng)驗(yàn)值。
    離線wuya02109
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-08-07
    修正值。
    離線dushuren
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2009-08-19
    謝謝指教
    離線gaoxt
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2009-08-20
    修正值,比較片與零件的位置相對蒸發(fā)源是不同的
    離線ttndleaqpy
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2009-10-25
    tooling value = 實(shí)際厚度 / 設(shè)定厚度
    離線wangqw
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2010-01-15
    7樓說得對
    離線suninrain
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2010-01-23
    可以說是晶振膜厚/基片膜厚，，或者是光控片膜厚/基片膜厚