自1985年啁啾脈沖放大技術(shù)發(fā)明以來，許多研究小組對強飛秒激光脈沖與物質(zhì)的相互作用進行了廣泛的研究。通過這些研究，目前利用飛秒激光技術(shù)進行高精度材料加工的過程已經(jīng)在工業(yè)界找到了創(chuàng)新性的應(yīng)用機會。與傳統(tǒng)激光器相比，飛秒激光材料加工技術(shù)可以顯著減少材料上的熱效應(yīng)。這是因為飛秒激光脈沖將能量傳導到材料中所需要的時間比光電耦合的時間要短，能量還來不及被擴散到周圍媒介中，受熱的材料就已經(jīng)被噴射出來了。 B%6)}Nl[  
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此外，飛秒激光脈沖聚焦后所具有的光強峰值高，因此，它不只可以加工透明材料的表面，也能夠進行內(nèi)部結(jié)構(gòu)的加工。與傳統(tǒng)激光加工技術(shù)相比，飛秒激光加工技術(shù)的這些優(yōu)勢為它開拓了廣泛的應(yīng)用前景。
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表面納米級周期結(jié)構(gòu)的加工 _Q