在
LED晶圓(LED外延片)制程方面,不同的襯底材料,需要不同的磊晶(晶圓生長)技術(shù)、芯片加工技術(shù)和封裝技術(shù),襯底材料決定了
半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下9個(gè)方面,襯底的選擇要同時(shí)滿足全部應(yīng)該有的好特性。所以,目前只能通過外延生長技術(shù)的變更和器件加工制程的調(diào)整來適應(yīng)不同襯底上的半導(dǎo)體發(fā)光器件的研發(fā)和生產(chǎn)。用于氮化鎵研究的襯底材料比較多,但是能用于生產(chǎn)的襯底目前只有二種,即藍(lán)寶石Al2O3和碳化硅SiC襯底。
LLaoND6 Bv3?WW 如果我們來看LED襯底材料,好的材料應(yīng)該有的特性如下:
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