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    [求助]關(guān)于阻蒸過(guò)程中膜料溢出的問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

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    離線lywfeng
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-07-09
    最近在蒸發(fā)YbF3過(guò)程中,不定時(shí)的出現(xiàn)膜料從蒸發(fā)舟溢出現(xiàn)象,并因此導(dǎo)致零件表面出現(xiàn)材料點(diǎn),使合格率下降。膜料溢出后導(dǎo)致膜層表面出現(xiàn)材料點(diǎn)的問(wèn)題雖然有據(jù)可查,但為何膜料會(huì)從蒸發(fā)舟中溢出卻一直未排查出原因。 :~-)Sm+^  
    (R,NV3m?w  
    SIj6.RK  
    敬請(qǐng)高手指教
    [ 此帖被lywfeng在2009-07-10 22:08重新編輯 ]
     
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    離線lywfeng
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-07-12
    急需解決此工藝問(wèn)題,哪位大俠幫幫忙啊
    離線caoguoyin
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-07-12
    查查你的阻蒸功率工藝是否穩(wěn)定吧
    離線lywfeng
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-07-13
    回 2樓(caoguoyin) 的帖子
    應(yīng)該不是阻蒸功率的問(wèn)題,用阻蒸的時(shí)候向來(lái)都是自動(dòng)程序配合手動(dòng)控制,此問(wèn)題都是出現(xiàn)在同一膜料YbF3上,且發(fā)生時(shí)間不具備習(xí)慣性,目前沒(méi)有發(fā)現(xiàn)規(guī)律
    離線damao
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-11-12
    這好像是個(gè)普遍問(wèn)題吧,需要在工藝上想辦法吧
    離線dede
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2012-05-09
    蒸發(fā)舟中溢出?能否加個(gè)蓋子
    離線冰雨8788
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2012-09-19
    我們前期用蒸法舟鍍Al時(shí),溢出也較嚴(yán)重
    離線ru777rr
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2012-09-20
    可以換廠商試試看
    離線a060103112
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-02-27
    加電流一定要穩(wěn)定均勻,如果是手動(dòng)鍍膜的話,必須找熟手
    離線clark007
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-05-30
    是啊,我也碰到這個(gè)問(wèn)題,大家還有什么經(jīng)驗(yàn)?