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    [討論]單點模厚換算 [復制鏈接]

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    離線dingjie
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-07-30
    想請教各位高手一個問題，鍍1490中心波長的單點增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底，它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結(jié)果跟實際的相差很大。有哪位高手會算請把換算公式列出來并把厚度帶進去，交流一下，好對比我錯在哪里！ m_Z%[@L  
     
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    離線dingjie
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-07-30
    上面有錯最后一層是325NM，不好意思！
    離線yzhuang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-08-01
    膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺機器都可能不一樣,需要你自己進行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實際的中心波長,再用軟件模擬一下,實際厚度多少,實際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺機器的一個換算參數(shù)
    離線0558
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-10-03
    先把TOOLING值找出
    離線天命
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-12-17
    膜系是可以的,換算是沒有固定公式可言的,每臺機器都可能不一樣,需要你自己進行修正,最簡單的辦法就是鍍奇數(shù)個1/4中心波長的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測量儀器測出實際的中心波長,再用軟件模擬一下,實際厚度多少,實際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺機器的一個換算參數(shù) 'bN\bbR  
    這個方法是正確的，也是最容易的
    離線拉比熊
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2013-01-14
    就是先做單層膜
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-03-18
    好東西。。。
    離線scenery
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-08-03
    s<cg&`u,<M  
    得好好學學！�。。�
    離線yuliang-518
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-08-19
    只能模擬對
    離線503749868
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-08-21
    好好學習