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    [討論]單點(diǎn)模厚換算 [復(fù)制鏈接]

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    離線dingjie
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-07-30
    想請(qǐng)教各位高手一個(gè)問(wèn)題,鍍1490中心波長(zhǎng)的單點(diǎn)增透膜SIO2、ZRO2、SIO2其中第一層是打底,它們的厚度分別是103.7——67.5——125納米做單位。我把厚度代入公式結(jié)果跟實(shí)際的相差很大。有哪位高手會(huì)算請(qǐng)把換算公式列出來(lái)并把厚度帶進(jìn)去,交流一下,好對(duì)比我錯(cuò)在哪里! GkQpELO:  
     
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    離線dingjie
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-07-30
    上面有錯(cuò)最后一層是325NM,不好意思!
    離線yzhuang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2009-08-01
    膜系是可以的,換算是沒(méi)有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡(jiǎn)單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長(zhǎng)的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測(cè)量?jī)x器測(cè)出實(shí)際的中心波長(zhǎng),再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù)
    離線0558
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2009-10-03
    先把TOOLING值找出
    離線天命
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2009-12-17
    膜系是可以的,換算是沒(méi)有固定公式可言的,每臺(tái)機(jī)器都可能不一樣,需要你自己進(jìn)行修正,最簡(jiǎn)單的辦法就是鍍奇數(shù)個(gè)1/4中心波長(zhǎng)的單層膜,記下晶控儀顯示膜厚,然后用測(cè)量?jī)x器測(cè)出實(shí)際的中心波長(zhǎng),再用軟件模擬一下,實(shí)際厚度多少,實(shí)際厚度與晶控儀顯示厚度之間的比例關(guān)系就是你要記住的本臺(tái)機(jī)器的一個(gè)換算參數(shù) 46_xyz3+  
    這個(gè)方法是正確的,也是最容易的
    離線拉比熊
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2013-01-14
    就是先做單層膜
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-03-18
    好東西。。。
    離線scenery
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-08-03
    > kG GR  
    得好好學(xué)學(xué)。。!
    離線yuliang-518
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-08-19
    只能模擬對(duì)
    離線503749868
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-08-21
    好好學(xué)習(xí)