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[論文]薄膜厚度和消光系數(shù)的透射光譜測量方法（doc文檔） [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-09-16

關鍵詞：薄膜消光系數(shù)光譜

薄膜厚度和消光系數(shù)的透射光譜測量方法摘要：本文提出薄膜厚度和消光系數(shù)的標準曲線測量法，論述了方法的測量原理和測量程序。該法的膜厚的測量范圍為~80nm到2000nm；膜厚的測量誤差大約為13nm。