薄膜厚度和消光系數(shù)的透射光譜測量方法摘要：本文提出薄膜厚度和消光系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)曲線測量法，論述了方法的測量原理和測量程序。該法的膜厚的測量范圍為~80nm到2000nm；膜厚的測量誤差大約為13nm。 h?ijZHG $  
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關(guān)鍵詞：薄膜、厚度、消光 r-WX("Vvh  
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自潔凈玻璃的自潔凈性能、低幅射玻璃的低幅射性能都與其膜層的厚度、折射率和消光系數(shù)有著密切的關(guān)系[1]。近代微電子學(xué)裝置，如成像傳感器、太陽能電池、薄膜器件等都需要這些參數(shù)[2] 。這些參數(shù)的數(shù)據(jù)是薄膜材料、薄膜器件設(shè)計的必不可少的基礎(chǔ)性數(shù)據(jù)。 HpeU'0u0VK  
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