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    [求助]磁控濺射過(guò)程中,電壓為什么會(huì)上升? [復(fù)制鏈接]

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    離線eeaarr
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-09-29
    磁控濺射鍍Ni-Si膜過(guò)程中,電壓為什么會(huì)慢慢上升?從44升到60
     
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    離線rock5330
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2009-09-30
    你使用直流濺射吧……