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    [下載]中遠紅外光學薄膜膜層厚度監(jiān)控的誤差分析與監(jiān)控裝置的改進 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-10-11
    中遠紅外光學薄膜膜層厚度監(jiān)控的誤差分析與監(jiān)控裝置的改進 M3@Wb@  
    GVk&n"9kp  
    本文主要闡述了光電極值法的基本原理和反射式膜厚控制裝置的誤差分析，并且對改進后的膜厚控制裝置的實驗結(jié)果進行了分析和討論。 c^vP d]Ed  
    >f