本文介紹了光譜分析儀波長(zhǎng)準(zhǔn)確度校準(zhǔn)的一種新方法，詳細(xì)闡述了其原理及具體實(shí)現(xiàn)。 4 d I`
Ub wmn!~
一引言 ')WS :\J
光 譜 分 析儀是通過(guò)光柵和激光旋轉(zhuǎn)編碼器實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的精確定位， 由于制作工藝的問(wèn)題， 同一批光柵的光柵常數(shù)都存在一定的誤差，光柵與激光旋轉(zhuǎn)編碼器安裝在一起時(shí)的相對(duì)位置也不盡相同，必須針對(duì)每臺(tái)光譜進(jìn)行波長(zhǎng)準(zhǔn)確度校準(zhǔn)。常規(guī)的方法是通過(guò)波長(zhǎng)一位置曲線圖來(lái)校準(zhǔn)，隨著光譜分析儀的掃描范圍和波長(zhǎng)準(zhǔn)確度指標(biāo)的提高，這種校準(zhǔn)方法的工作量越來(lái)越大，同時(shí)也不可能有這么多標(biāo)準(zhǔn)光源來(lái)滿足校準(zhǔn)要求，必須采用新的波長(zhǎng)準(zhǔn)確校準(zhǔn)方法。
