《
真空鍍膜技術(shù)》共分10章,
系統(tǒng)地闡述了真空鍍膜技術(shù)的基本慨念和基礎(chǔ)理論、各種
薄膜制備技術(shù)、設(shè)備及工藝、真空卷繞鍍膜技術(shù)、ITO導(dǎo)電
玻璃真空鍍膜工藝,尤其重點介紹了一些近年來新出現(xiàn)的鍍膜方法與技術(shù),如反應(yīng)磁控濺射鍍膜技術(shù)、中頻磁控濺射鍍膜和非平衡磁控濺射鍍膜技術(shù)等;還詳細(xì)介紹了薄膜沉積及膜厚的監(jiān)控與測量以及表面與薄膜分析檢測技術(shù)等方面的內(nèi)容。
/'SNw?& 《真空鍍膜技術(shù)》具有很強的實用性,適合于真空鍍膜行業(yè)、薄膜與表面應(yīng)用、
材料工程、應(yīng)用物理以及與真空鍍膜技術(shù)有關(guān)的行業(yè)從事研究、設(shè)計、設(shè)備生產(chǎn)操作與維護的技術(shù)人員,也適用與真空鍍膜技術(shù)相關(guān)的實驗研究人員和學(xué)生,還可用作大專院校相關(guān)專業(yè)師生的教材及參考書。
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kr 1 薄膜與表面技術(shù)基礎(chǔ)理論
KYm0@O>; 1.1 概述
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1.2 固體表面介紹
}dX*[I 1.2.1 固體材料
X0HZH?V+ 1.2.2 固體表面與界面的基本概念
b!t0w{^w 1.2.3 固體表面與界面的區(qū)別
h4gXvPS&r 1.3 表面晶體學(xué)
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$1?i) 1.3.1 金屬薄膜的晶體
結(jié)構(gòu) G[