最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請(qǐng)問這種情況各位有沒有遇到過,有解決的方法嗎??? ;IokThI
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鍍膜溫度290度,鍍膜材料為TiO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無離子源助鍍....... `6xkf&Kt
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懇請(qǐng)賜教~~~