最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請問這種情況各位有沒有遇到過,有解決的方法嗎??? R
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鍍膜溫度290度,鍍膜材料為TiO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無離子源助鍍....... 2rzOh},RS  
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懇請賜教~~~

我們也有這個現(xiàn)象 但是我們的溫度是380

我來說下 不知道對不對 僅供參考  在鍍制中溫度要控制好 不應(yīng)過高是一點  看鍍制40-50層 一般零件是中間厚邊緣薄，本來就有內(nèi)應(yīng)力  而且還要學(xué)日本去用沸水煮  況且在鍍制中越往后雖然真空度高了 但膜料由于蒸發(fā)角的原因沉積會受到影響 所以會變薄  建議零件完工后褪下火或者用離子源輔助

有什么退火的工藝嗎

同意2樓的說法。

最外層不要用SiO2,用Al2O3試試。

學(xué)習(xí)了 謝謝

學(xué)習(xí)了 謝謝

5樓： RHj<t");  
AL2O3防水好點嗎？ rP<S =eb