光纖Bragg光柵壓力傳感特性研究摘要：提出了以半導(dǎo)體硅材料作為光纖Bragg光柵(FBG)襯底的FBG壓力傳感密封型結(jié)構(gòu)，并對其壓力傳感特性進行了研究，結(jié)果表明：FBG的中心反射波長漂移對壓力呈現(xiàn)良好的線性響應(yīng)特性，在O～35MPa的測壓范圍內(nèi)，壓力調(diào)諧靈敏度為O．034nn∥MPa，有良好的機械性能和穩(wěn)定性能。通過對實驗數(shù)據(jù)的擬合分析表明：采用這種材料，其中心波長和壓力變化有著好的線性擬合度和重復(fù)性，且遲滯很小，它們的相關(guān)系數(shù)都達到0．99，在光傳感領(lǐng)域具有實用價值。 c-ud $0)c
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關(guān)鍵詞：導(dǎo)波與光纖光學(xué)；光纖Bragg光柵；壓力傳感器；襯底材料
