光纖Bragg光柵壓力傳感特性研究摘要:提出了以
半導體硅
材料作為光纖Bragg光柵(FBG)襯底的FBG壓力傳感密封型結構,并對其壓力傳感特性進行了研究,結果表明:FBG的中心反射
波長漂移對壓力呈現(xiàn)良好的線性響應特性,在O~35MPa的測壓范圍內(nèi),壓力調(diào)諧靈敏度為O.034nn∥MPa,有良好的
機械性能和穩(wěn)定性能。通過對實驗數(shù)據(jù)的擬合分析表明:采用這種材料,其中心波長和壓力變化有著好的線性擬合度和重復性,且遲滯很小,它們的相關系數(shù)都達到0.99,在光傳感領域具有實用價值。
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