我是用ArF準(zhǔn)分子激光做醫(yī)療設(shè)備的，激光波長193nm，激光器是德國TUI生產(chǎn)的，脈沖式發(fā)光，最大功率3000mw。準(zhǔn)分子激光激光器屬于氣體激光器，其工作原理是：將高純度的氣體與鹵素氣體在高電場產(chǎn)生的光線（脈沖形式）下混合而得到的激光。 P%A;EF~ v
這種激光器所產(chǎn)生的激光光斑一般是長方形的，能量分布在x軸上是高斯分布，在y軸上是草帽型分布，為了能使激光對(duì)物質(zhì)的切削達(dá)到最光滑一般采用以下方法：降低作用激光的能量密度；改變光斑形態(tài)為圓形。 D>|m8- @]
現(xiàn)在有兩種方法： _HW~sz|
1、先用小孔光闌截取方形光斑中央部分以使得到的圓形光斑能量形態(tài)最好，再用凸透鏡對(duì)光束進(jìn)行聚焦。這種方法優(yōu)點(diǎn)是光路簡單。缺點(diǎn)是；1、能量損失大2、對(duì)原始光斑質(zhì)量要求非常高，調(diào)節(jié)難度大。 7xTgG!>v
2、先將原始光束微分后再將光束積分。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是對(duì)原始光斑要求不高，缺點(diǎn)是光路復(fù)雜，損耗高。 RSC^R}a5
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那位高手可指點(diǎn)一二，多謝。
