高功率垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）技術(shù)，為光泵浦、工業(yè)和醫(yī)療等應(yīng)用提供了可靠的高溫工作特性。 P!JRIw  
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高功率邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器廣泛應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)療以及國(guó)防等多個(gè)領(lǐng)域，也是固體激光器泵浦和光纖激光器泵浦的普遍選擇。然而眾所周知，在高功率密度下，邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器的發(fā)射腔面容易產(chǎn)生光學(xué)災(zāi)變性損壞（COD），這是導(dǎo)致高功率邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器性能下降的一個(gè)致命因素。[1]相比之下，垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）中則沒(méi)有COD，因?yàn)槠湓鲆鎱^(qū)是嵌入到外延結(jié)構(gòu)中的，因此也不會(huì)暴露在外界環(huán)境中（見(jiàn)圖1）。此外，在邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器中，與邊發(fā)射結(jié)相連的光波導(dǎo)的面積相對(duì)較小，從而導(dǎo)致其比VCSEL具有更高的功率密度。通常，一個(gè)典型的邊發(fā)射激光器的故障率（FIT率定義為每10億個(gè)器件工作小時(shí)中所出現(xiàn)的故障數(shù)）為500或更高。[2]相比之下，VCSEL的FIT率為10或更小。[3][4]也就是說(shuō)，一個(gè)使用VCSEL作泵浦源的系統(tǒng)，其使用壽命至少要比用邊發(fā)射激光器作泵浦源長(zhǎng)50倍。 .C2.j[>