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    [求助]請問如附件所示的非球面柱面鏡如何檢測？ [復(fù)制鏈接]

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    離線bluejewls
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2010-06-20
    最近遇一課題，需要用到非球面柱面鏡，加工出來了，但麻煩的是，不知如何檢測。面型精度要求較高，偏差5微米左右。請問各位大俠有什么好辦法？ +C=^,B!,  
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2010-07-02
    用ZYGO機可測試，它有CGH配件，專用于測柱面面形
    離線121331768
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2010-07-02
    樓上正解！
    離線binaryoptics
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2012-10-05
    需用干涉儀和特別訂制的CGH