目標(biāo)是 形成 一條 12mm 長 20um 寬的激光線, 要求邊緣清晰度高,球差是主要的問題,所以決定使用非球面鏡頭,光源用的是650nm 的laser diode 發(fā)散角是9度 NA 0.08 和30度 NA 0.25 BZJKiiD
7sud/*+F
準(zhǔn)備 用一片圓形的 NA 0.25 非球面鏡頭 來 準(zhǔn)直 KP=D! l&q
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然后用一片 圓柱體 的 非球面鏡頭 來聚焦 , 因?yàn)橛泄ぷ骶嚯x的要求, 會(huì)使用大概 NA 0.02 <Spr6U9p7
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當(dāng)中用一片 10um 寬的 細(xì)縫來作field stop. JlC<MQ?
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大家看看這樣的系統(tǒng)可行嗎? ~>#LOT `
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謝謝大牛指點(diǎn)!