隨著納米技術(shù)的進(jìn)步，產(chǎn)品不斷向微型化方向發(fā)展，特征尺寸為微米級(jí)的微機(jī)電
系統(tǒng)越來(lái)越受到人們的高度重視。
-{'WIGm &DgJu. 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Machanical Systems）包括微型機(jī)構(gòu)、微型
傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理
電路等幾部分，MEMS已相繼應(yīng)用于精密機(jī)械、光電通訊、影像傳輸、生化醫(yī)療和信息儲(chǔ)存等領(lǐng)域，如微
齒輪、插頭式
光纖連接器、醫(yī)學(xué)用微量泵、
導(dǎo)光板、微
透鏡、內(nèi)窺鏡零件、微流控
芯片、細(xì)胞培養(yǎng)用微型容器，以及旋轉(zhuǎn)傳感器中的衍射光柵等都需要微型
模具。國(guó)際MEMS市場(chǎng)近年來(lái)獲得迅速發(fā)展，中國(guó)的MEMS市場(chǎng)增速也將加快，據(jù)有關(guān)
資料預(yù)測(cè)，至2011年我國(guó)MEMS的增速有望達(dá)到29.2%。
z^ r t)/:VImY 所謂微型模具，如果從尺寸和制造精度上加以限定，則微型模具具有以下特征：成形制件尺寸微小，一般來(lái)說(shuō)體積為1mm3左右；成形的微觀(guān)尺寸從幾微米到幾百微米，模具表面粗糙度Ra≤0.1μm，模具的制造精度≤1.0μm。
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