隨著納米技術(shù)的進步，產(chǎn)品不斷向微型化方向發(fā)展，特征尺寸為微米級的微機電系統(tǒng)越來越受到人們的高度重視。 *MI)]S  
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微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Machanical Systems）包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，MEMS已相繼應(yīng)用于精密機械、光電通訊、影像傳輸、生化醫(yī)療和信息儲存等領(lǐng)域，如微齒輪、插頭式光纖連接器、醫(yī)學(xué)用微量泵、導(dǎo)光板、微透鏡、內(nèi)窺鏡零件、微流控芯片、細胞培養(yǎng)用微型容器，以及旋轉(zhuǎn)傳感器中的衍射光柵等都需要微型模具。國際MEMS市場近年來獲得迅速發(fā)展，中國的MEMS市場增速也將加快，據(jù)有關(guān)資料預(yù)測，至2011年我國MEMS的增速有望達到29.2%。 QeL{Wa-2F  
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所謂微型模具，如果從尺寸和制造精度上加以限定，則微型模具具有以下特征：成形制件尺寸微小，一般來說體積為1mm3左右；成形的微觀尺寸從幾微米到幾百微米，模具表面粗糙度Ra≤0.1μm，模具的制造精度≤1.0μm。 9/G!0uE  
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微型模具不一定指體積微小的模具，在大體積的模具上有微結(jié)構(gòu)特征的部分，這一部分也可稱作微型模具，這種模具結(jié)構(gòu)的微小型腔部分，可在一個小體積的模塊上加工，然后把小模塊作為一個模塊嵌入大模具中，這不僅便于微小模具的微細加工，而且可以進行鑲塊更換，以提高整體模具的壽命。 7ZQ'h3K  
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微型模具的制造難點在于微小型腔或微小凹凸結(jié)構(gòu)的加工，一般機械加工方法不能加工尺寸太小的零件，也就是說很難加工微結(jié)構(gòu)尺寸的微型模具，而且尺寸精度和表面粗糙度都達不到微型模具的要求，特別是機械加工的應(yīng)力對微型模具加工影響較大。雖然目前已開發(fā)了微細車削機床、微細銑削機床和微細磨削機床，但都有其局限性，很難適合微型模具的微型腔加工。而適合微型模具加工的主要是特種加工技術(shù)，包括光制作技術(shù)、微細電火花加工技術(shù)等。近年來發(fā)展的新型光制作技術(shù)——LIGA技術(shù)，是深度X射線刻蝕、電鑄成型和塑料鑄模等技術(shù)的結(jié)合，是一種高精度微結(jié)構(gòu)的零件加工技術(shù)，但LIGA只能加工柱狀的微結(jié)構(gòu)，作為微型模具的加工手段也有一定的局限性。 Oo kxg *!5  
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微細電火花加工在微細加工領(lǐng)域被廣泛采用，已成為微型模具加工方面一個重要的發(fā)展方向。微細電火花加工微型模具具有一系列優(yōu)點： [g