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    [轉(zhuǎn)載]準(zhǔn)分子激光器應(yīng)用范圍日益擴(kuò)大 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2010-08-09
    關(guān)鍵詞: 分子激光器
    準(zhǔn)分子激光具有獨(dú)特的材料加工特性,這一特性使得其應(yīng)用范圍日益擴(kuò)大。 h 66X746  
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    與其他氣體激光器不同,準(zhǔn)分子激光器在應(yīng)用方面的數(shù)目和種類不斷的增多。這是因?yàn),?zhǔn)分子激光器所獨(dú)有的特性和性能,這使得準(zhǔn)分子激光器能滿足很多的材料加工的需要。其獨(dú)有的特性也使得它很好的被用于新興的技術(shù)中。目前,主要有兩個(gè)方面應(yīng)用:1) 材料的切除 2) 光學(xué)材料的加工,尤其是打孔,劃線,微加工,和其他方面的加工,在這些加工中,其特征尺寸縮小且超出了機(jī)械加工的范圍。準(zhǔn)分子材料切除的本質(zhì)是光燒蝕,它幾乎沒有熱影響區(qū)域,而且使用準(zhǔn)分子時(shí),切口干凈而且輪廓分明。這些特點(diǎn)使得它十分適合進(jìn)行亞微米范圍的微加工。此外,短波長的紫外(UV)準(zhǔn)分子輻射很容易被許多材料所吸收,使得它不論對硬質(zhì)材料(如,硅和陶瓷)還是對軟質(zhì)聚合物都能進(jìn)行有效加工。紫外準(zhǔn)分子激光波長的范圍較廣,這意味著,基本上對于任何需要加工的材料都能夠找到合適的波長。大型的多模平頂準(zhǔn)分子光束讓大面積圖案制作所需的光束整形和掩膜技術(shù)成為可能,使得加工效率更高,且能得到復(fù)雜的三維圖案。 6 bnuC  
    ZIrJ"*QO=  
    目前,準(zhǔn)分子激光器有三個(gè)主要的用途:LASIK眼科手術(shù),平板顯示器退火,和半導(dǎo)體微光刻。不過,準(zhǔn)分子市場的其他部分也是很重要的,包括了許多不同的加工和行業(yè),從對眼鏡打標(biāo)到加工柴油機(jī)汽缸套,到電子工業(yè)中的打孔都使用了該技術(shù)。然而,這“三大”主要的應(yīng)用有專門的模型,這些模型被優(yōu)化以滿足行業(yè)中已很好確立的性能參數(shù),在大量不同的應(yīng)用中對激光條件有著廣泛且多樣的要求。這是因?yàn)閷τ谝粋(gè)給定的材料和波長,要進(jìn)行有效的材料加工就需要在主要的準(zhǔn)分子激光性能,脈沖能量(對加工對象的影響),和重復(fù)頻率之間得到正確的平衡。 )C C