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[論文]一種提高光柵尺測(cè)量精度的有效方法.PDF論文下載 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-04-13

關(guān)鍵詞：光柵尺精度

一種提高光柵尺測(cè)量精度的有效方法：提出了采用多零位信號(hào)自動(dòng)消除大量程光柵尺計(jì)數(shù)累積誤差的方法，并通過在光柵尺的非零位處對(duì)計(jì)數(shù)值和清零次數(shù)的修改，解決了引入零位信號(hào)后光柵尺的絕對(duì)位移難以求取的問題，通過采用逐步檢測(cè)的方法判斷計(jì)數(shù)值是否被誤清零而出錯(cuò)，并根據(jù)出錯(cuò)前的計(jì)數(shù)值讓光柵尺通過最近的零位，自動(dòng)修正光柵尺的計(jì)數(shù)值。

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