自從1958年世界上出現(xiàn)第一塊平面集成電路開始算起，在短短的四十多年中，微電子技術(shù)以令世人震驚的速度突飛猛進(jìn)地發(fā)展，創(chuàng)造了人間奇跡。作為微電子技術(shù)工藝基礎(chǔ)的微光刻技術(shù)是人類迄今為止所能達(dá)到的精度最高的加工技術(shù)。 gXI8$W>  
O
*zF` 9  
微光刻技術(shù)既偉大也很微小當(dāng)今世界各行各業(yè)都離不開信息科學(xué)信息科學(xué)離不開計(jì)算機(jī)技術(shù)計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展離不開微電子技術(shù)微電子技術(shù)工藝基礎(chǔ)是微光刻技術(shù)微光刻技術(shù)一次又一次突破分辨率極限，使微電子技術(shù)得以創(chuàng)造了如此偉大的人間奇跡細(xì)細(xì)回味：幾十年來微光刻技術(shù)把微細(xì)加工尺寸從微米級(jí)推進(jìn)到納米級(jí)，與在人類從宇宙太空到原子世界的整個(gè)研究探索領(lǐng)域相比，也只是微小的一段。 >rb8A6  
KQ(7%