二元光學元件的研究將可能在以下方面發(fā)展 etT9}RbQ
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1.亞波長結構二元光學元件 2Y%7.YX"
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具有亞波長結構的二元光學元件的研究(包括設計理論與制作技術) 這類元件的特征尺寸比波長還要小，其反射率、透射率、偏振特性和光譜特性等都顯示出與常規(guī)二元光學元件截然不同的特征，因而具有許多獨特的應用潛力，如可 以作為抗反射元件、偏振元件、窄帶濾波器和相位板。研究重點包括：建立正確和有效的理論模型設計超精細結構衍射元件；特殊波面變換的算法研究；發(fā)展波前工 程學，以制作逼近臨界尺寸的微小元件及開拓亞波長結構衍射元件的應用，推動微光學的發(fā)展。 L*dGo,oN
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2.二元光學的CAD軟件包 |{(JUXo6K
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二元光學的CAD軟件包的開發(fā)至今尚未找到適合于不同浮雕衍射結構的簡單而有效的理論模型，二元光學元件的設計仍缺乏像普通光學設計程序那樣， 可以求出任意面形、傳遞函數(shù)及系統(tǒng)像差、具有友好界面的通用軟件包。但隨著通用設計工具的發(fā)展，二元光學元件有可能成為通用的標準光學元件，而得到廣泛的 應用，并與常規(guī)光學結合，形成一代嶄新的光學系統(tǒng)。 n-2!<`UFX
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3.微型光機電集成系統(tǒng) 1X2|jj
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微型光機電集成系統(tǒng)是二元光學研究的總趨勢微光電機械系統(tǒng)微光機械微電子機械微機械 1991年，美國國家關鍵技術委員會向美國總統(tǒng)提交了《美國國家關鍵技術》報告，其中第8項為“微米級和納米級制造”，即微工程技術，它主要包括微電子 學、微機械學和微光學這三個相互關聯(lián)相互促進的學科，是發(fā)展新一代計算機、先進機器人及智能化系統(tǒng)，促進機械、電子及儀器儀表工業(yè)實現(xiàn)集成化、微型化的核 心技術。二元光學技術則是發(fā)展微光學的重要支柱，二元光學元件有可能直接刻蝕在集成電路芯片上，并在一塊芯片上布置微光學陣列，甚至完全集成化的光電處理 單元，這將導致包含各種全新的超密集傳感系統(tǒng)的產生。
