摘要：離軸照明作為一種重要的分辨率增強技術(shù)被廣泛地應(yīng)用于投影光刻系統(tǒng)。使用衍射光學(xué)元件（ ＤＯＥ） 作為光刻照明系統(tǒng)的光束整形器件， 能夠在保持較高照明效率的基礎(chǔ)上精確控制離軸照明光束的形狀及光強分布。本文利用基于傅里葉變換的分步迭代方法， 優(yōu)化設(shè)計了該類衍射光學(xué)元件（ ＤＯＥ） 。ＤＯＥ采用了多臺階位相結(jié)構(gòu)， 設(shè)計所得８臺階ＤＯＥ設(shè)計結(jié)果分別實現(xiàn)了偶極、 四極、 環(huán)形及Ｂ ｕ ｌ ｌ ｓ Ｅ ｙ ｅ等照明方式， 其照明效率都達到了８ ０％以上， 與目標光強分布的均方根偏差均＜７％。 Tz2-Bp]h
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關(guān)鍵詞： 衍射光學(xué)元件； 投影光刻； 分辨率增強； 照明； 光束整形
