MTF（Modulation TransferFunction） yNTd_XPL  
絕對(duì)精度    2%以下（軸上、軸外）（PT基準(zhǔn)）   @KG0QHyiU  
重復(fù)精度   1%以下（軸上） 3%以下（軸外）  對(duì)應(yīng)EFL   0.5…100mm             9KSi-2?H  
有限共軛長(zhǎng)  1…100mm   O&`.R|v  
有限最大物高  ±350mm System倍率          0.01…0.25 DwD$T%kF  
測(cè)量入射角 ±90°(INF)   4s\s
pvJ  
測(cè)量線對(duì)   0 …300 lp/mm     評(píng)價(jià)波長(zhǎng)   PEFilter （白色） 488, 546, 656nm（可選） ?KT{H(rU  
1uF$$E6[  
EFL（Effective Focal Length） cby#  
絕對(duì)精度   0.1% - 0.3%  （NPL基準(zhǔn)） L`NIYH<^  
重復(fù)精度   0.05%   MB plhVK8  
測(cè)量范圍   1mm … 100mm   O5\r%&$xd  
q5'S<qY^  
有限MTF設(shè)定 H=dIZ  
●有限距離調(diào)整（半自動(dòng)）10…1000mm @Z)|_  
●物高調(diào)整（自動(dòng)）±350mm  Stepping Motor（Reso. 0.2μm） u\R?(G&  
●像高調(diào)整（自動(dòng)）0…50mm ＊高精度LinearEncorder 50mm (Accy 0.1μm), Stepping Motor (Reso. 0.2μm) ^xo<$zn
 
●對(duì)焦調(diào)整（自動(dòng)AF）100mm Bx\&7|,x  
5*0zI\  
●平行光管（EFL50, 150, 300mm）   COL150-RC 4reticles, 4filters (488, 546, 656, PE) ,'#TdLe  
●測(cè)量入射角調(diào)整（自動(dòng)）+/- 90°＊高精度Rotary Encorder（Reso. 0.36arcsec），Stepping Motor（Reso.0.2μm）, Swivel Arm qsj{0