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    離線greenhaw
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-06-29
    在DC sputtering時(shí)，有一個(gè)參數(shù)是Impedance范圍0-10000，請問如果過程中如真空度過高或功率很低引起阻抗很大，意味著什么，會不會對電源有損害？
     
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