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[求助]低折射率的薄膜材料用濺射鍍膜 [復(fù)制鏈接]

離線buaazjw

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-06-30

各位童鞋，大家能不能給我介紹幾種低折射率的薄膜材料啊，可以用濺射反應(yīng)鍍膜的，我知道目前是SiO2，這個(gè)或許湊合。MgF2這個(gè)只能用射頻濺射，設(shè)備要求太高了，主要是我的靶很大，長(zhǎng)度要有一米呢。

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