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ZEMAX光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計實戰(zhàn)	Zemax光學(xué)設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計與光學(xué)元件	計算光學(xué)帶來的成像革命

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求微光學(xué)制造（使用半導(dǎo)體加工工藝）方面的書籍 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-07-14

關(guān)鍵詞： MEMS 二元光學(xué)

本人對光學(xué)基本一竅不通，但是因為需要把衍射光柵集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光學(xué)/二元光學(xué)的制作工藝。