將近40年以來(lái)，氣動(dòng)振動(dòng)隔離器一直是穩(wěn)定大多數(shù)工業(yè)及學(xué)術(shù)上重要的微型工程使用儀器的支柱。在微電子加工、工業(yè)激光/光學(xué)系統(tǒng)及生物研究領(lǐng)域中，對(duì)更加精密的振動(dòng)隔離的需求每日劇增。這些所謂的"被動(dòng)系統(tǒng)"風(fēng)動(dòng)工作臺(tái)現(xiàn)在面臨著新型的負(fù)勁度振動(dòng)隔離器的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。 I]uhi{\C  
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負(fù)勁度振動(dòng)隔離在工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中迅速得以流行完全是因?yàn)槠淠軌蛴行У卦诟鞣N各樣富有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中進(jìn)行振動(dòng)隔離的能力。一只隔離器用于解決一個(gè)問(wèn)題，而且問(wèn)題的嚴(yán)重性確定了需要何種解決方案。 D;js.ZF  
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風(fēng)動(dòng)工作臺(tái)自20世紀(jì)60年代以來(lái)就一直被用于隔離�；�本上是一罐罐的空氣，現(xiàn)在他們依然是所使用的最流行的隔離器。但是，共振頻率為2至2.5Hz的風(fēng)動(dòng)工作臺(tái)在典型情況下只能處理低到8至10Hz的振動(dòng)，對(duì)于今日之納米設(shè)備最適合的表現(xiàn)來(lái)說(shuō)，它還是不夠低。同樣，在空氣隔離器能夠處理的頻率范圍內(nèi)也需要更大的隔離功效。 @2' %o<lF  
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需要更好的隔離作用 OD+5q(!"a  
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盡管數(shù)年以前風(fēng)動(dòng)系統(tǒng)的表現(xiàn)就已經(jīng)夠用了，但是現(xiàn)在還是需要更好的隔離作用。對(duì)于清理掃描探針顯微鏡和干涉計(jì)來(lái)說(shuō)，風(fēng)動(dòng)工作臺(tái)這個(gè)解決方案就不夠用了。 nG
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由于其隔離效率極高，負(fù)勁度振動(dòng)隔離系統(tǒng)能夠讓諸如掃描探針顯微鏡、微型硬度測(cè)試儀、仿形銑床以及掃描電子顯微鏡這類的振動(dòng)敏感儀器在性能最好的風(fēng)動(dòng)工作臺(tái)及其他啟動(dòng)隔離系統(tǒng)都不能起作用的嚴(yán)酷的條件和嚴(yán)峻的振動(dòng)環(huán)境中運(yùn)行。 #@Y/{[s|@  
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完整的機(jī)械系統(tǒng) .ECHx