路過，看看

均與性調(diào)到5nm以下，如何？

調(diào)整均勻性擋板，上下，形狀都會影響均勻性，理論計算就不會了

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán) *@ \LS!N

通過補正板的適當(dāng)調(diào)整，可以解決。具體要看曲線的形狀，具體分析。

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán)

調(diào)節(jié)補償擋板

1,先鍍一鍋無修正板的,測試片要記好順序,測出數(shù)據(jù)( 用一種膜料試) rhA>;9\  
2,再鍍一鍋有修正板的,修正板長方最好是長方形,測試片要記好順序,測出數(shù)據(jù), QPJz~;V2  
  (順序出錯很重要,不能出錯), 1]]#HTwX  
3,根據(jù)1,2的數(shù)據(jù),算出各個位的修正因子 Ul%D}(,  
4,再根據(jù)2的數(shù)據(jù)和各個位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測出數(shù)據(jù) ;iTZzmB  
5,看數(shù)據(jù)的一致性好不好,好了就OK,不好,再根據(jù)4的數(shù)據(jù)和各個位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測出數(shù)據(jù), fMZzR|_18  
6,重復(fù)直到OK

這是一個朋友教我的, VAet!
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