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    [討論]AZO的density and Z ratio [復(fù)制鏈接]

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    離線greenhaw
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-11-23
    蒸發(fā)AZO鍍膜過程中,要輸入AZO的density and Z ratio但是查遍表格也沒有發(fā)現(xiàn),用ZnO的數(shù)據(jù)作了一遍發(fā)現(xiàn)不太準(zhǔn), { .n"Z  
    誰有AZO的數(shù)據(jù)分享以下?以及AZO evaporation過程中的注意事項 ,4 hJT  
    BTW,AZO好像是直接升華的,我用ZnO的參數(shù)晶振片上顯示150nm,但是a-step測試只有幾納米,不知道為什么?求解。 MtM%{=&_  
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-11-27
    個人認(rèn)為,把密度參數(shù)設(shè)準(zhǔn)了,其它的基本上以忽略